洁净室及相关受控环境 第21部分:空气粒子采样技术

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 21: Airborne particle sampling techniques

概要

国家标准计划《洁净室及相关受控环境第21部分:空气粒子采样技术》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委

项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息

  • 20251852-Z-469
  • 制定
  • 12个月
  • 2025-06-06
  • 方法
  • 13.040.35
  • 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
  • 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
  • 国家标准委

起草单位

中国电子工程设计院股份有限公司

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TR 14644-21:2023

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第21部分:空气粒子采样技术