概要
国家标准计划《纳米技术纳米尺度薄膜厚度测量椭圆偏振法应用指南》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行，主管部门为中国科学院
项目进度
起草
征求意见
审查
批准
发布
基础信息
- 20260021-Z-491
- 制定
- 12个月
- 2026-01-09
- 方法
- 17.180.30
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会
- 中国科学院
起草单位
泰州飞荣达新材料科技有限公司、东南大学、南京大学海安高技术研究院、泰州巨纳新能源有限公司、南京大学等
采标情况
本标准等同采用IEC国际标准：IEC/TR 63258:2021
采标中文名称:纳米技术 纳米尺度薄膜厚度测量 椭圆偏振法应用指南